ITO付きガラス

日本板硝子株式会社は1981年相模原工場内でインラインタイプスパッター製法による高温成膜ITO付きガラスを、また1986年にベルジャータイプスパッター製法による低温成膜ITO付きガラスを世の中にだしました。
インラインタイプスパッター製法による高温成膜ITO付きガラスは社内でガラスからITOまでのプロセスを保有し、一貫製品として様々なアプリケーション(TN,STN)に対応することが可能です。
ベルジャータイプスパッター製法による低温成膜ITO付きガラスは、カラーSTN用途として、カラーフィルタの上ITO成膜に対応することが可能です。
LCD業界の生産拠点がワールドワイド化する今日、日本板硝子株式会社は生産拠点を世界に広げ、様々な生産拠点から様々な形でITO付きガラス製品をご提供してまいります。

多様化するLCDアプリケーションに対応すべく、様々なITO付きガラス製品を様々な形でご提供します。

高温成膜ITO付きガラス

弊社が保有する豊富なガラスバリエーションに成膜し、一商品としてITO付きガラス製品をご提供します。

一般的な仕様(インライン型スパッタITO膜)

品種 シート抵抗値(Ω/□) 透過率(%以上) 膜厚(nm) 耐熱抵抗値(Ω/□以下) エッチング性(秒以下) 耐アルカリ性(抵抗変化率) 耐湿性
(抵抗変化率)
4~7 75 250±30 10 360 ±10%以内 ±10%以内
10Ω 6~10 77 190±25 15 270
15Ω 9~15 82 130±20 20 240
20Ω 12~20 80 100±20 30 240
25Ω 14~25 79 90±20 35 240
30Ω 15~30 78 75±15 50 210
45Ω 25~45 78 50±15 90 180
60Ω 30~60 79 40±15 180 150
80Ω 50~80 83 30±12 240 120
100Ω 50~100 84 28±10 300 90
125Ω 60~125 85 25±10 375 60
透過率 :λ=550nmで測定
耐熱性 :300oC, 30分保持
エッチング性 :エッチャント H2O:HCl:HNO3=1:1:0.16, 45oC
耐アルカリ性 :1wt%NaOH, 70oC, 20分
耐湿性 :60oC, 90%RH, 24時間保持

低温成膜ITO付きガラス

カラーSTN用途として、カラーフィルタの上ITO成膜を行い、ご提供いたします。
またより低比抵抗製品を作るべく、通称HDAPと呼ばれる新しい成膜方法(Highly Dense Arc Plasma)の開発に成功し、今後より低比抵抗の上ITO膜をご提供してまいります。

一般的な仕様(バッチ型スパッタITO膜)

品種 シート
抵抗値
(Ω/□)
透過率
(%以上)
膜厚
(nm)
耐熱抵抗値
(Ω/□以下)
エッチング性
(秒以下)
耐アルカリ性
(抵抗変化率)
耐湿性
(抵抗変化率)
5~7 82 280±30 8 360 ±10%以内 ±10%以内
15Ω 10~15 84 160±20 18 240
20Ω 13~20 82 120±15 24 240
耐熱性 :200oC, 30分保持
エッチング性 :エッチャント H2O:HCl:HNO3=1:1:0.08, 45oC
耐アルカリ性 :5wt%NaOH, 40oC, 10分

 

低温成膜ITO付きガラス 

  1. ガラス基板:ソーダライムガラス(UFF)
  2. 対向電極膜:高温スパッター膜(ITO,SIO2)
  3. CF電極膜 :低音スパッター膜(ITO,SIO2)
  4. CF用基板 :LPD法(Hコート)SIO2膜